MKS液位傳感器

一、美國MKS公司簡(jiǎn)介
在MKS，他們有著悠久的歷史，可以利用他們的集體好奇心來理解和開發(fā)解決方案，這些解決方案是許多關(guān)鍵技術(shù)創(chuàng)新的核心。這些創(chuàng)新推動(dòng)了半導(dǎo)體，工業(yè)，生命與健康科學(xué)，研究和國防市場(chǎng)的加速路線圖。他們的使命是成為創(chuàng)新的和可信賴的合作伙伴，以突破可能性的界限。創(chuàng)新是他們潛在的增長引擎–發(fā)明導(dǎo)致新產(chǎn)品的推出，從而導(dǎo)致設(shè)計(jì)獲勝，從而帶來長期收入。他們對(duì)創(chuàng)新的不懈關(guān)注始于花時(shí)間真正了解客戶最復(fù)雜的問題，然后設(shè)計(jì)創(chuàng)新的解決方案來解決它們。

MKS Instruments與薄膜，加工制造，環(huán)境監(jiān)測(cè)和生命科學(xué)行業(yè)的客戶合作，為他們最嚴(yán)峻的技術(shù)挑戰(zhàn)開發(fā)突破性的解決方案。他們的工作使他們的客戶獲得更大的成功，使他們的社會(huì)更加安全和高效。MKS成立于1961年，是一家成功而受人尊敬的公司。他們分為兩個(gè)部門：真空和分析部門，在壓力測(cè)量，功率，等離子體，流量，化學(xué)，自動(dòng)化以及控制和分析方面擁有廣泛的技術(shù);以及光與運(yùn)動(dòng)部門，在激光，光子儀器，亞微米定位，振動(dòng)隔離和光學(xué)方面擁有廣泛的技術(shù)。

二、美國MKS部分產(chǎn)品介紹
1、美國MKS Micro-Baratron®高壓，超凈，單端壓力傳感器
①電容壓力計(jì)是可以測(cè)量壓力和真空度的機(jī)電式壓力計(jì)。電容表將薄膜中的壓力調(diào)制運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成與壓力成比例的電信號(hào)。壓力傳感器是薄的隔膜，通過入口管暴露在壓力或真空下。電極安裝在隔膜后面的參考腔中。過程與參考腔之間的壓力差會(huì)使隔膜稍微偏斜，從而改變了隔膜與電極之間的距離。該距離的變化會(huì)在隔膜和電極之間產(chǎn)生電容變化，從而產(chǎn)生與壓力變化成比例的電信號(hào)。
②AA07A/AA08A傳感器非常適合用于將超純氣體供入關(guān)鍵過程系統(tǒng)的輸送系統(tǒng)。它們暴露在氣流中的濕表面的表面光潔度比Ra好5µin。這些換能器具有出色的干燥特性，并且在背景以上沒有顆粒。在制造和組裝后，將它們用超凈氮?dú)獯祾?，然后?00級(jí)環(huán)境中進(jìn)行兩次裝袋。
③AA07A/AA08A中的傳感器采用全I(xiàn)ncoloy®結(jié)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)較高的過壓容限，從而減少了由于管路壓力峰值而引起的誤差。高爆破壓力等級(jí)有助于整體系統(tǒng)安全。在現(xiàn)有的氣柜和處理系統(tǒng)上，由于體積小，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的端到端長度以及這些傳感器的電氣接口選擇，使得更換普通百分表或性能較低的傳感器變得容易。

2、美國MKS 624F 1-1,000 Torr，加熱(45°C)帶有脫扣點(diǎn)的絕對(duì)Baratron®電容壓力計(jì)
①溫度控制在45°C，讀數(shù)精度為0.12%
②0至10 VDC模擬量輸出，與絕對(duì)壓力成比例
③兩個(gè)可調(diào)過程跳閘點(diǎn)繼電器
④直接測(cè)量總壓力，與氣體成分無關(guān)
⑤所有Inconel®傳感器耐腐蝕濕表面
⑥集成式集液槽提供顆粒保護(hù)

3、美國MKS多氣體，多量程，金屬密封，50-50,000 sccm的質(zhì)量流量控制器
①流量從5到50,000 sccm
②金屬密封，帶特氟龍閥塞
③多種數(shù)字(ItherCAT，DeviceNet™，Profibus®，PROFINET和RS485)或模擬(0-5 VDC或4-20 mA)I/O
④標(biāo)準(zhǔn)閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的1.0%
⑤少于750毫秒的建立時(shí)間

4、美國MKS 901P MicroPirani™和壓電式Loadlock真空壓力傳感器
①絕對(duì)壓力測(cè)量范圍為1,000至10-5托
②單個(gè)傳感器中的3傳感器功能可實(shí)現(xiàn)廣泛的測(cè)量范圍
③模擬，RS232，RS485和EtherCAT®版本
④可選的集成觸摸屏顯示器可用于本地壓力指示
⑤快速，準(zhǔn)確和可重復(fù)的壓力測(cè)量縮短了處理周期
⑥具有快速響應(yīng)時(shí)間的三個(gè)可選設(shè)定點(diǎn)，可實(shí)現(xiàn)可靠的過程控制

5、美國MKS GPCA通用壓力控制器
①設(shè)定點(diǎn)精度的百分比可實(shí)現(xiàn)精確的過程控制
②溫度補(bǔ)償壓力傳感器保持精確度
③DeviceNet™，EtherCAT®或RS485通信
④嵌入式用戶界面
⑤10µ英寸電拋光316L表面處理和金屬密封，適用于高純度應(yīng)用

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